Dostawa i uruchomienie profilometru mechanicznego dla Akademickiego Centrum Materiałów i Nanotechnologii (ACMIN) AGH - ZP/0381/2012
Przedmiot zamówienia obejmuje dostawę i uruchomienie SYSTEMU profilometru mechanicznego wraz z dodatkowym wyposażeniem.
I. Wymagania
1. SYSTEM powinien umożliwiać pomiar topografii powierzchni przy użyciu metody kontaktowej. W szczególności powinien umożliwić wyznaczenie:
— grubości powłoki,
— chropowatości,
— naprężeń powierzchniowych oraz defektów.
2. SYSTEM powinien umożliwić regulację:
— długości linii skanowania w zakresie co najmniej 0,05 ÷ 52mm,
— siły nacisku sondy w zakresie co najmniej 1mg ÷ 15 mg (realizowana przez tę samą głowicę pomiarową),
— liczby punktów pomiarowych na linię skanowania w zakresie do co najmniej 60 000.
3. SYSTEM powinien być wyposażony manualny stolik X/Y z uchwytem próbek przystosowanym do wafli o średnicy 4 cali. Stolik powinien również umożliwiać zamocowanie i pomiar mniejszych próbek o nieregularnych kształtach o grubości do 50 mm.
4. SYSTEM powinien zapewniać:
— profilowanie pionowe (w kierunku osi Z) w zakresie co najmniej 1 mm,
— rozdzielczość pionową nie gorsza niż 0,1 nm dla zakresu skanowania równego lub większego od 6500 nm,
— powtarzalność pomiaru lepszą niż 0,5 nm (1 sigma) dla stopnia o wysokości 100 nm.
5. SYSTEM powinien posiadać dedykowany uchwyt igieł (końcówek pomiarowych) z magnetycznym zabezpieczeniem, umożliwiający montaż i łatwą wymianę igieł o promieniach zaokrąglenia z zakresu co najmniej 0,05 ÷ 25 mikronów oraz igieł o wydłużonej końcówce do pomiarów wąskich struktur. Wraz z systemem powinna być dostarczona igła o promieniu zaokrąglenia 2 mikronów.
6. SYSTEM powinien być wyposażony w optyczny układ podglądu igły i powierzchni próbki pod kątem obserwacji bliskim 45. Układ powinien się składać z kamery CCD o rozdzielczości co najmniej 3 Mpix (z możliwością zmiany powiększenia obrazu) oraz cyfrowej karty przechwytywania obrazu sterowanej przez wspólne oprogramowanie SYSTEMU.
7. SYSTEM powinien być wyposażony w komputer (konsolę sterującą) z zainstalowanym oprogramowaniem (licencja bezterminowa) pozwalającym na:
— zautomatyzowany pomiar wysokości stopni,
— przeliczenie przejść negatywnych i pozytywnych,
— wyliczenie parametrów chropowatości (Ra, Rq, Wa),
— zmianę wielkości kursorów w zależności od skomplikowania profilu,
— filtrowania obrazów w celu wyróżniania chropowatości, falistości oraz analizowania podstawowych danych.
8. W skład SYSTEMU powinny wchodzić:
— izolacja antywibracyjna,
— osłona środowiskowa wykonana z materiałów zgodnych z ESD.
9. Wszystkie urządzenia wchodzące w skład SYSTEMU powinny być zabezpieczony przed uszkodzeniem w przypadku wyłączeniem zasilania, być fabrycznie nowe i posiadać certyfikat CE.
10. SYSTEM powinien być przystosowany do pracy na stole laboratoryjnym w pomieszczeniu czystym (cleanroom) klasy 10000, a jego wymiary całkowite nie powinny przekraczać (S x G x W) 1,0 x 0,6 x 0,5 m.
Termin
Termin składania ofert wynosił 2012-07-30.
Zamówienie zostało opublikowane na stronie 2012-06-18.
Dostawcy
Następujący dostawcy są wymienieni w decyzjach o przyznaniu zamówienia lub innych dokumentach dotyczących zamówień:
Kto?
Co?
Gdzie?
Historia zamówień
| Data |
Dokument |
| 2012-06-18
|
Ogłoszenie o zamówieniu
|
| 2012-09-05
|
Ogłoszenie o udzieleniu zamówienia
|