Dostawa i uruchomienie systemu do wytwarzania nanocząsteczek i reaktywnego nanoszenia cienkich warstw dla Akademickiego Centrum Materiałów i Nanotechnologii (ACMIN) AGH - ZP/0225/2012

Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie

1. System ma spełniać jednocześnie dwie funkcje:
— umożliwiać wytwarzanie nanocząstek metali i tlenków metali metodą termalizacji oraz ich osadzanie w postaci cienkich warstw na różnych podłożach,
— umożliwiać nanoszenie jednoczesne lub/i sekwencyjne wieloskładnikowych cienkich warstw oraz struktur wielowarstwowych metali i związków metali o kontrolowanym składzie chemicznym i grubości z co najmniej 3 źródeł na różnych podłożach.
2. System ma umożliwiać wytwarzanie nanocząstek metali i tlenków metali o kontrolowanym rozmiarze i rozkładzie wielkości oraz umożliwiać ich pokrywanie cienkowarstwową otoczką z innego metalu lub tlenku metalu o rozmiarach nanometrycznych.
3. System powinien składać się z dwóch niezależnych komór procesowych spełniających standardy ultrawysokiej próżni (UHV):
— komory do produkcji nanocząstek w otoczkach (ang. core/shell nanoparticles),
— komory do nanoszenia cienkich warstw metodą reaktywnego jonowego rozpylania.
4. Komory procesowe powinny być połączone próżnioszczelnie z wchodzącą w skład Systemu komorą załadowczo-dystrybucyjną w standardzie UHV umożliwiającą szybkie wprowadzanie, magazynowanie i transfer podłoży pomiędzy:
— otoczeniem (np. komorą rękawicową) a Systemem,
— komorami procesowymi,
— Systemem a przewidywaną komorą analityczną.
5. System ma być przystosowany do rozbudowy (w miejscu jego instalacji) o dodatkową komorę analityczną połączoną z komorą załadowczo-dystrybucyjną.
6. Oprogramowanie i oprzyrządowanie Systemu powinno umożliwiać niezależną i jednoczesną pracę w obu komorach.
7. Procesy nanoszenia w obu komorach muszą być prowadzone w sposób zautomatyzowany z możliwością sterowania ich przebiegiem z terminala podłączonego do sieci Internet.

Termin
Termin składania ofert wynosił 2012-05-31. Zamówienie zostało opublikowane na stronie 2012-04-20.

Kto?

Co?

Gdzie?

Historia zamówień
Data Dokument
2012-04-20 Ogłoszenie o zamówieniu
2012-04-24 Dodatkowe informacje