Dostawa, instalacja i uruchomienie urządzenia do mycia wysokociśnieniowego podłoży półprzewodnikowych i masek chromowych

Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych

Dostawa, instalacja i uruchomienie urządzenia do mycia wysokociśnieniowego podłoży półprzewodnikowych i masek chromowych (semi-automated high pressure single wafer and substrate cleaning system) zgodnego z wymaganiami Zamawiającego, określonymi w „Szczegółowej charakterystyce przedmiotu zamówienia” stanowiącej załącznik nr 1 do niniejszej SIWZ, przeznaczonego do mycia podłoży półprzewodnikowych oraz masek chromowych o rozmiarach obejmujących co najmniej:
1) podłoża półprzewodnikowe o średnicy 2”, 3”, 100mm i 150mm,
2) fragmentów podłoży półprzewodnikowych o nieregularnych kształtach i rozmiarach od 15mm x 15mm,
3) masek chromowych o rozmiarach 4” x 4”, 5” x 5”, 6” x 6”, 7” x 7”.
Urządzenie pozwalać ma na programowanie i kontrolę procesów mycia obejmujących co najmniej mycie podłoży w roztworze Piranha, mycie w procesach SC1 i SC2, mycie podłoży w rozcieńczonym roztworze HF (3%), wysokociśnieniowe mycie wodą dejonizowaną, procesy mycia ultradźwiękowego (megasonic system), suszenie dyszą z nadmuchem azotowym. Roztwory Piranha, SC1 i SC2 mają być otrzymywane przez łączenie odczynników chemicznych w zadanych proporcjach w trakcie procesu mycia.
Zamówienie obejmuje również przeszkolenie pracowników Zamawiającego w zakresie bezpieczeństwa, obsługi i utrzymania technicznego urządzenia oraz stosowania procesów mycia chemicznego, wysokociśnieniowego i ultradźwiękowego.
Kod CPV według Wspólnego Słownika Zamówień Publicznych (CPV):
38.00.00.00-5 – Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyjątkiem szklanego)

Termin

Termin składania ofert wynosił 2013-01-28. Zamówienie zostało opublikowane na stronie 2012-12-18.

Kto?

• Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych

Co?

• Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyjątkiem szklanego)

Gdzie?

• Miasto Warszawa

Historia zamówień

Data	Dokument
2012-12-18	Ogłoszenie o zamówieniu

Ogłoszenie o zamówieniu (2012-12-18)
Obiekt
Zakres zamówienia
Tytuł: Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyjątkiem szklanego)
Wielkość lub zakres: 214 000
Całkowita wartość zamówienia: 214 000 💰
Metadane ogłoszenia
Język oryginału: polski 🗣️
Typ dokumentu: Ogłoszenie o zamówieniu
Rodzaj zamówienia: Dostawy
Regulacja: Unia Europejska
Wspólny słownik zamówień (CPV)
Kod: Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyjątkiem szklanego) 📦

Procedura
Typ procedury: Procedura otwarta
Typ oferty: Wniosek dotyczący wszystkich partii
Kryteria przyznawania nagród
Oferta najbardziej korzystna ekonomicznie

Instytucja zamawiająca
Tożsamość
Kraj: Polska 🇵🇱
Typ instytucji zamawiającej: Inne
Nazwa instytucji zamawiającej: Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
Adres pocztowy: Wólczyńska 133
Kod pocztowy: 01-919
Miasto pocztowe: Warszawa
Kontakt
Adres internetowy: http://www.itme.edu.pl 🌏
E-mail: slawomir.strelau@itme.edu.pl 📧
Telefon: +48 228353536 📞
Fax: +48 228349220 📠

Odniesienie
Daty
Data wysłania: 2012-12-18 📅
Termin składania ofert: 2013-01-28 📅
Data publikacji: 2012-12-21 📅
Identyfikatory
Numer ogłoszenia: 2012/S 246-404498
Numer Dz.U.-S: 246

Obiekt
Zakres zamówienia
Krótki opis:

1) podłoża półprzewodnikowe o średnicy 2”, 3”, 100mm i 150mm,

2) fragmentów podłoży półprzewodnikowych o nieregularnych kształtach i rozmiarach od 15mm x 15mm,

3) masek chromowych o rozmiarach 4” x 4”, 5” x 5”, 6” x 6”, 7” x 7”.

Urządzenie pozwalać ma na programowanie i kontrolę procesów mycia obejmujących co najmniej mycie podłoży w roztworze Piranha, mycie w procesach SC1 i SC2, mycie podłoży w rozcieńczonym roztworze HF (3%), wysokociśnieniowe mycie wodą dejonizowaną, procesy mycia ultradźwiękowego (megasonic system), suszenie dyszą z nadmuchem azotowym. Roztwory Piranha, SC1 i SC2 mają być otrzymywane przez łączenie odczynników chemicznych w zadanych proporcjach w trakcie procesu mycia.

Zamówienie obejmuje również przeszkolenie pracowników Zamawiającego w zakresie bezpieczeństwa, obsługi i utrzymania technicznego urządzenia oraz stosowania procesów mycia chemicznego, wysokociśnieniowego i ultradźwiękowego.

Kod CPV według Wspólnego Słownika Zamówień Publicznych (CPV):

38.00.00.00-5 – Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyjątkiem szklanego)

Czas trwania: 112 dni
Numer referencyjny: ZP/028/2012
Nazwa projektu lub programu finansowanego przez UE:

Realizacja prac jest współfinansowana ze środków Unii Europejskiej w ramach projektu:

Centrum Mikro- i Nanotechnologii MINOS nr POIG.02.01.00-14-125/09.

Miejsce wykonania
Główne miejsce lub miejsce wykonywania działalności: ul. Wólczyńska 133, 01-919 Warszawa

Informacje prawne, ekonomiczne, finansowe i techniczne
Warunki uczestnictwa
Zdolność do prowadzenia działalności zawodowej:

1. Aktualny odpis z właściwego rejestru, jeżeli odrębne przepisy wymagają wpisu do rejestru w celu wykazania

braku podstaw do wykluczenia w oparciu o art. 24 ust. 1 punkt 2 Ustawy prawo zamówień publicznych

wystawiony nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu do składania wniosków o dopuszczenie do

udziału w postępowaniu o udzielenie zamówienia publicznego albo składania ofert, a w stosunku do osób

fizycznych oświadczenie w zakresie art 24 ust 1 pkt. 2 Ustawy.

2. Aktualne zaświadczenie właściwego naczelnika urzędu skarbowego potwierdzające, że Wykonawca nie

zalega z opłacaniem podatków, lub zaświadczenie, że uzyskał przewidziane prawem zwolnienie, odroczenie

lub rozłożenie na raty zaległych płatności lub wstrzymanie w całości wykonania decyzji właściwego organu

– wystawione nie wcześniej niż 3 miesiące przed upływem terminu składania wniosków o dopuszczenie do

udziału w postępowaniu o udzielenie zamówienia albo składania ofert.

3. Aktualne zaświadczenie właściwego oddziału Zakładu Ubezpieczeń Społecznych lub Kasy Rolniczego

Ubezpieczenia Społecznego potwierdzające, że Wykonawca nie zalega z opłacaniem składek na ubezpieczenie

zdrowotne i społeczne, lub potwierdzenia, że uzyskał przewidziane prawem zwolnienie, odroczenie lub

rozłożenie na raty zaległych płatności lub wstrzymanie w całości wykonania decyzji właściwego organu –

wystawione nie wcześniej niż 3 miesiące przed upływem terminu składania wniosków o dopuszczenie do

udziału w postępowaniu o udzielenie zamówienia publicznego albo składania ofert.

4. Aktualna informacja z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 4-8 Ustawy

prawo zamówień publicznych, wystawiona nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania

wniosków o dopuszczenie do udziału w postępowaniu o udzielenie zamówienia publicznego albo składaniaofert. Aktualna informacja z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 4-8

ustawy P.z.p., wystawiona nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania ofert. W przypadku

wykonawcy mającego siedzibę na terytorium Rzeczypospolitej Polskiej, jeżeli osoby, o których mowa w art. 24

ust. 1 pkt 5-8 ustawy Pzp mają miejsce zamieszkania poza terytorium Rzeczypospolitej Polskiej, Wykonawca

składa w odniesieniu do nich zaświadczenie właściwego organu sądowego albo administracyjnego miejsca

zamieszkania dotyczące niekaralności tych osób w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt 5-8 ustawy Pzp,

wystawione nie wcześniej niż 6 miesięcy przed upływem terminu składania ofert, a w przypadku, gdy w

miejscu zamieszkania tych osób nie wydaje się takich zaświadczeń – dokument zawierający oświadczenie

złożone przed notariuszem, właściwym organem sądowym, administracyjnym albo organem zawodowym lub

gospodarczym miejsca zamieszkania tych osób.

5.Aktualna informacja z Krajowego Rejestru Karnego w zakresie określonym w art. 24 ust. 1 pkt. 9 Ustawy

wniosków o dopuszczenie do udziału w postępowaniu o udzielenie zamówienia publicznego albo składania

ofert.

6.Oświadczenie o braku podstaw do wykluczenia, o treści zgodnej z załącznikiem 3 do SIWZ.

7.Oświadczenie o spełnianiu warunków udziału w postępowaniu, o treści zgodnej z załącznikiem 4 do SIWZ.

8.Opłacona polisa, a w przypadku jej braku inny dokument potwierdzający, że Wykonawca jest ubezpieczony

od odpowiedzialności cywilnej w zakresie prowadzonej działalności związanej z przedmiotem zamówienia.

Zamawiający uzna warunek za spełniony, jeżeli wartość polisy wynosić będzie minimum 250.000,00 EURO lub

1.000.000,00 PLN i będzie ona zachowywać ważność przez cały okres wykonywania zamówienia

Sytuacja gospodarcza i finansowa: Określono w punkcie III.2.1)
Minimalny poziom(y) standardów: Określono w punkcie III.2.1)
Zdolności techniczne i zawodowe:

10. Wykaz wykonanych dostaw w zakresie niezbędnym do wykazania spełnienia warunku wiedzy i doświadczenia w okresie ostatnich trzech lat przed upływem terminu składania ofert, a jeżeli okres prowadzenia działalności jest krótszy – w tym okresie, z podaniem ich wartości, przedmiotu, dat wykonania i odbiorców oraz załączeniem dokumentów potwierdzających, że dostawy te zostały wykonane należycie (Załącznik nr 6). Zamawiający uzna warunek za spełniony, jeżeli wykaz wraz z dokumentami potwierdzającymi należyte wykonanie dostaw obejmować będzie minimum trzy dostawy, z których co najmniej jedna miała wartość nie mniejszą niż 180.000,00 EURO netto, a każda obejmowała urządzenie do mycia wysokociśnieniowego podłoży półprzewodnikowych i masek chromowych posiadający co najmniej następujące cechy:

a) wysokociśnieniowe mycie podłoży półprzewodnikowych i masek chromowych wodą dejonizowaną,

b) mycie podłoży półprzewodnikowych i masek chromowych przy użyciu procesów ultradźwiękowych (megasonic system),

c) mycie podłoży w odczynnikach chemicznych, w tym także na gorąco, w roztworach takich jak Piranha, SC1, SC2, rozcieńczony HF,

d) kontrola urządzenia przez sterownik umożliwiający programowanie procesów mycia oraz wyprowadzanie informacji o przebiegu procesu i stanie urządzenia.

Wykonawca może polegać na wiedzy i doświadczeniu innych podmiotów, niezależnie od charakteru prawnego łączących go z nimi stosunków, pod warunkiem, iż taki podmiot będzie brał udział w realizacji przedmiotowego zamówienia. W takiej sytuacji Wykonawca jest zobowiązany udowodnić Zamawiającemu, iż będzie dysponował zasobami niezbędnymi do realizacji zamówienia, w szczególności przedstawiając w tym celu pisemne zobowiązanie tych podmiotów do oddania mu do dyspozycji niezbędnych zasobów na okres korzystania z nich przy wykonaniu zamówienia. Jeżeli Wykonawca, wykazując spełnianie warunków opisanych przez Zamawiającego polega na zasobach innych podmiotów na zasadach określonych w art. 26. ust. 2b ustawy Pzp, Zamawiający żąda od Wykonawcy przedstawienia w odniesieniu do tych podmiotów dokumentów wymienionych w punkcie XIII w podpunktach 2-7.

10. Broszura producenta zawierająca podstawowe informacje o urządzeniu do mycia wysokociśnieniowego podłoży półprzewodnikowych i masek chromowych (w języku polskim lub angielskim), w tym parametry techniczne urządzenia, opis podstawowych funkcji, wymagania związane z instalacją urządzenia, zdjęcia i rysunki przedstawiające wygląd i wymiary urządzenia.

Realizacja zamówienia
Wymagane depozyty i gwarancje:

1. Zamawiający wymaga wniesienia wadium w wysokości 2.500,00 EURO.

2. Zamawiający będzie żądał od Wykonawcy, którego oferta zostanie wybrana wniesienia zabezpieczenia należytego wykonania umowy w wysokości 5% ceny całkowitej podanej w ofercie.

3. Zamawiający będzie wymagał zabezpieczenia zaliczki (o ile będzie wymagana).

Procedura
Okres ważności oferty: 60 dni
Data otwarcia ofert: 2013-01-28 📅
Miejsce otwarcia: Polska, 01-919 Warszawa, ul. Wólczyńska 133, budynek 2, pokój 162
Miejsce: Polska, 01-919 Warszawa, ul. Wólczyńska 133, budynek 2, pokój 162
Kryteria przyznawania nagród
Kryterium: 1. cena (90)
2. długość okresu gwarancji (10)
Języki
Język: angielski 🗣️
polski 🗣️

Instytucja zamawiająca
Tożsamość
Inny rodzaj instytucji zamawiającej: Other
Kontakt
Punkt kontaktowy: Sławomir Strelau

Odniesienie
Identyfikatory
Numer referencyjny nadany przez instytucję zamawiającą: ZP/028/2012

Informacje uzupełniające
Organ kontrolny
Nazwa: Urząd Zamówień Publicznych
Adres pocztowy: Postęu 17A
Miasto pocztowe: Warszawa
Kod pocztowy: 02-676
Kraj: Polska 🇵🇱
Telefon: +48 224587706 📞
Adres internetowy: http://www.uzp.gov.pl 🌏
Fax: +48 224587700 📠
Informacje o terminach składania odwołań:

Odwołanie wnosi się w terminie 10 dni od dnia przesłania informacji o czynności Zamawiającego stanowiącej

podstawę jego wniesienia – jeśli zostały przesłane faksem lub drogą elektroniczną albo w terminie 15 dni jeśli

zostały przesłane w inny sposób.

Organ odpowiedzialny za procedury mediacyjne
Tak samo jak: Organ kontrolny
Źródło: OJS 2012/S 246-404498 (2012-12-18)

Nowe zamówienia w powiązanych kategoriach 🆕

Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyjątkiem szklanego) (>20 nowe zamówienia)