Dostawa, instalacja i uruchomienie urządzenia do mycia wysokociśnieniowego podłoży półprzewodnikowych i masek chromowych

Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych

Przedmiotem niniejszego zamówienia jest dostawa, instalacja i uruchomienie urządzenia do mycia wysokociśnieniowego podłoży półprzewodnikowych i masek chromowych (semi-automated high pressure single wafer and subtrate cleaning system) przeznaczonego do mycia co najmniej podłoży półprzewodnikowych o średnicy 2”, 3”, 100mm, 150mm, 210mm, i 300mm, fragmentów podłoży półprzewodnikowych o nieregularnych kształtach i rozmiarach od 15mm x 15mm, podłoży kwadratowych (w tym masek chromowych) o rozmiarach 4” x 4”, 5” x 5”, 6” x 6”, 7” x 7”, 8” x 8”. Urządzenie pozwalać ma na programowanie i kontrolę procesów mycia obejmujących mycie co najmniej w roztworze Piranha, mycie podłoży w procesach SC1 i SC2, mycie podłoży w rozcieńczonym roztworze HF (3 %), wysokociśnieniowe mycie podłoży wodą dejonizowaną, procesy mycia ultradźwiękowego (megasonic system), suszenie dyszą z nadmuchem azotowym. Roztwory Piranha, SC1 i SC2 mają być otrzymywane przez łączenie odczynników chemicznych w zadanych proporcjach w trakcie procesu mycia. Zamówienie obejmuje również przeszkolenie pracowników Zamawiającego w zakresie bezpieczeństwa, obsługi i utrzymania technicznego urządzenia oraz stosowania procesów mycia chemicznego, wysokociśnieniowego i ultradźwiękowego.

Termin
Termin składania ofert wynosił 2012-10-19. Zamówienie zostało opublikowane na stronie 2012-09-07.

Kto?

Co?

Historia zamówień
Data Dokument
2012-09-07 Ogłoszenie o zamówieniu
2013-10-25 Dodatkowe informacje
Ogłoszenie o zamówieniu (2012-09-07)
Obiekt
Zakres zamówienia
Tytuł: Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyjątkiem szklanego)
Wielkość lub zakres:
“218 000,00”
Całkowita wartość zamówienia: 218 000,00 💰
Metadane ogłoszenia
Język oryginału: polski 🗣️
Typ dokumentu: Ogłoszenie o zamówieniu
Rodzaj zamówienia: Dostawy
Regulacja: Unia Europejska
Wspólny słownik zamówień (CPV)
Kod: Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyjątkiem szklanego) 📦

Procedura
Typ procedury: Procedura otwarta
Typ oferty: Wniosek dotyczący wszystkich partii
Kryteria przyznawania nagród
Oferta najbardziej korzystna ekonomicznie

Instytucja zamawiająca
Tożsamość
Kraj: Polska 🇵🇱
Typ instytucji zamawiającej: Inne
Nazwa instytucji zamawiającej: Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
Adres pocztowy: Wólczyńska 133
Kod pocztowy: 01-919
Miasto pocztowe: Warszawa
Kontakt
Adres internetowy: http://www.itme.edu.pl 🌏
E-mail: slawomir.strelau@itme.edu.pl 📧
Telefon: +48 228353536 📞
Fax: +48 228349220 📠

Odniesienie
Daty
Data wysłania: 2012-09-07 📅
Termin składania ofert: 2012-10-19 📅
Data publikacji: 2012-09-12 📅
Identyfikatory
Numer ogłoszenia: 2012/S 175-288686
Numer Dz.U.-S: 175
Źródło: OJS 2012/S 175-288686 (2012-09-07)
Dodatkowe informacje (2013-10-25)
Obiekt
Metadane ogłoszenia
Typ dokumentu: Dodatkowe informacje

Odniesienie
Daty
Data wysłania: 2013-10-25 📅
Data publikacji: 2013-10-29 📅
Identyfikatory
Numer ogłoszenia: 2013/S 210-363656
Odnosi się do ogłoszenia: 2012/S 175-288686
Numer Dz.U.-S: 210
Źródło: OJS 2013/S 210-363656 (2013-10-25)
Nowe zamówienia w powiązanych kategoriach 🆕
Powiązane wyszukiwania 🔍