Wielkość lub zakres
Przedmiot zamówienia - zestaw skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM) z możliwością pracy w warunkach zmiennej próżni, wyposażony w działo z emisją polową (FEG), spektrometr energodyspersyjny (EDS) oraz napylarkę wysokopróżniową - 1 sztuka.Wymagania zestawu:Sterowany cyfrowo, wysokorozdzielczy mikroskop SEM wyposażonym w działo elektronowe z termiczną emisją polową (emiter Schottky'ego).- Mikroskop powinien umożliwiać pracę z maksymalnym prądem wiązki elektronowej ≥ 200 nA.- Wiązka elektronowa powinna charakteryzować się wysoką stabilnością (w krótkim okresie czasu fluktuacje < 0.1%/10 min i w długim okresie czasu < 0.5%/10 godz.).- Napięcie przyspieszające regulowane w zakresie od 200 V do 30 kV.- Wymagana rozdzielczość obrazów elektronów wtórnych przy napięciu przyspieszającym 30kV na standardowej próbce ziaren złota na błonie węglowej w wysokiej próżni ≤ 1,2 nm (gwarantowana w miejscu instalacji).- Wymagana rozdzielczość obrazów elektronów wstecznie rozproszonych przy napięciu przyspieszającym 30kV na standardowej próbce ziaren złota na błonie węglowej w wysokiej próżni ≤ 2,5 nm (gwarantowana w miejscu instalacji).- Wymagana rozdzielczość obrazów elektronów wtórnych przy napięciu przyspieszającym 30 kV na standardowej próbce ziaren złota na błonie węglowej w niskiej próżni ≤ 1,4 nm (gwarantowana w miejscu instalacji).- Wymagana rozdzielczość obrazów elektronów wtórnych przy napięciu przyspieszającym 3kV na standardowej próbce ziaren złota na błonie węglowej w niskiej próżni ≤ 3 nm (gwarantowana w miejscu instalacji).- Wymagana rozdzielczość obrazów elektronów wstecznie rozproszonych przy napięciu przyspieszającym 30kV na standardowej próbce ziaren złota na błonie węglowej w niskiej próżni ≤ 2,5 nm (gwarantowana w miejscu instalacji).- Zmiana wielkości powiększenia w zakresie co najmniej od 15 x do 1 000 000 x.- Mikroskop powinien zostać wyposażony w stolik preparatu zmotoryzowany co najmniej w 4 osiach i eucentryczny obrót wokół osi w zakresie 3600 dla wszystkich położeń X-Y.o wartość przesuwu w osi X, Y co najmniej 50mm;o wartość przesuwu w osi Z co najmniej 50mm;o możliwość zmiany kąta nachylenia stolika co najmniej w zakresie od -150do +700- Mikroskop powinien być wyposażony w co najmniej następujące detektory obrazowe:o Detektor elektronów wtórnych do pracy w trybie wysokiej próżni;o Detektor (lub detektory) elektronów wtórnych do pracy w pełnym zakresie trybu niskiej próżni, działający (działające) na zasadzie bezpośredniej detekcji elektronów wtórnych;o Gazowy detektor elektronów wstecznie rozproszonych, ograniczający rozpraszanie wiązki elektronowej w obszarze niskiej próżni i poprawiający jakość obrazowania w przypadku próbek słabo przewodzących.- Mikroskop powinien posiadać funkcję zapamiętywania obrazu zastosowanych stolików wielopozycyjnych wraz z indywidualnymi współrzędnymi próbek i punktów pomiarowych, oraz automatyczny powrót do zapamiętanych położeń.- Mikroskop powinien posiadać możliwość jednoczesnej obserwacji przynajmniej 4 żywych obrazów z różnych detektorów na ekranie jednego monitora dla celów porównawczych.- Wymagana kolorowa kamera do wstępnego obrazowania powierzchni preparatów umieszczonych na stoliku. Kamera powinna być montowana na drzwiach komory i charakteryzować się rozdzielczością co najmniej 5 megapikseli. Uzyskane obrazy powinny być w sposób automatyczny przypisywane do współrzędnych przesuwu stolika.- Mikroskop powinien umożliwiać pracę w warunkach zmiennej próżni. Wymagany układ, w którym wartość ciśnienia gazu w komorze preparatowej w warunkach niskiej próżni może osiągać co najmniej 4000 Pa.- Możliwość wykonania badań przy deakceleracji wiązki elektronowej pozwalającej na regulację energii elektronów padających na powierzchnię preparatów przewodzących lub częściowo przewodzących. System powinien zapewniać regulację energii elektronów padających na powierzchnię próbek w zakresie co najmniej do – 4 kV.- Mikroskop powinien być wyposażony w urządzenie do plazmowego czyszczenia komory mikroskopu i powierzchni próbek (zamontowane w komorze preparatu), sterowane z poziomu oprogramowania głównego mikroskopu (interfejs użytkownika mikroskopu).- Mikroskop powinien umożliwiać cyfrowy zapis obrazów mikroskopowych z maksymalną rozdzielczością co najmniej 12 megapikseli i skali szarości 16 bit.- Wymagana możliwość cyfrowej rejestracji obrazów w formatach: TIFF, BMP i JPEG, a także rejestracji sekwencji filmowych w formacie AVI oraz tworzenie animacji z serii zarejestrowanych obrazów pojedynczych.- Interfejs użytkownika mikroskopu powinien być kompatybilny z systemem operacyjnym MS Windows 7.- System mikroskopu powinien zostać wyposażony w co najmniej dwa 24” kolorowe monitory LCD.- Wymagany układ próżniowy w mikroskopie bazujący na pompie turbomolekularnej, sterowany w sposób całkowicie automatyczny i na bieżąco monitorowany na wypadek jakiejkolwiek niesprawności bądź awarii.- System mikroskopu musi być wyposażony w układ chłodzenia wodą w obiegu zamkniętym.- Mikroskop powinien być wyposażony w stolik chłodzący Peltier'a, umożliwiający schładzanie próbek od temperatury pokojowej do 0°C oraz zamrażanie próbek do temperatur w zakresie od 0°C do co najmniej –20°C. Sterowanie temperaturą (w tym programowanymi zmianami temperatury) stolika chłodzącego powinno odbywać z poziomu głównego oprogramowania sterującego mikroskopu (interfejs użytkownika mikroskopu).- Wymagana możliwość dynamicznej obserwacje in-situ w komorze preparatu próbek grzanych do temperatury co najmniej 10000C, przy czym oferowany system mikroskopu musi zapewnić możliwość bieżącego obrazowania próbki „na żywo” i w pełnym zakresie osiąganej temperatury.- Wymagany jest układ filtracji i podtrzymania napięcia zasilającego.- Wymagane jest całkowite zabezpieczenie przed przepięciami i krótkotrwałymi zanikami napięcia.- Wymagane jest podtrzymanie pracy mikroskopu przez co najmniej 10 min. (po tym czasie bezpieczne włączenie ręczne lub automatyczne trybu podtrzymania pracy źródła elektronów).W skład zestawu musi wchodzić rentgenowski spektrometr, spełniający co najmniej poniższe wymagania:- Spektrometr z dyspersją energii (EDS) umożliwiający detekcję pierwiastków od bory wzwyż.- Bezazotowy detektor SDD spektrometru EDS posiadający zdolność rozdzielczą co najmniej 129 eV lub lepszą (specyfikowaną dla linii Mn Kα przy 100 000 zliczeń/sekundę).- Spektrometr EDS powinien umożliwiać wykonywanie analizy jakościowej i ilościowej, całkowicie bezwzorcowo lub z wykorzystaniem wzorców analitycznych.- Układ SEM/EDS musi zapewniać możliwość analizy:o punktowoo z wybranego obszaru zredukowanegoo z całego kadruo wzdłuż dowolnie poprowadzonej linii (linescan)o rozkładu pierwiastków na wybranym obszarze (mapping rtg).- Układ spektrometru EDS musi dysponować możliwością kontroli wiązki elektronowej mikroskopu w celu akwizycji obrazów elektronowych i map rtg. z użyciem własnego wysokorozdzielczego generatora skanu.- System EDS powinien dysponować możliwością zbierania map rtg od co najmniej 30 pierwiastków jednocześnie.- System spektrometru EDS powinien dysponować możliwością rejestracji obrazów elektronowych z rozdzielczością maksymalną co najmniej 50 megapikseli i map rozkładów promieniowania rtg z rozdzielczością maksymalną co najmniej 2048 x 1600 pikseli.W skład zestawu musi wchodzić napylarka próżniowa do nanoszenia cienkich powłok przewodzących węgla i metali szlachetnych na powierzchnię preparatów nieprzewodzących.Napylarka musi spełniać co najmniej następujące warunki:- urządzenie wyposażone w pompę turbomolekularną o sprawności co najmniej 70L/s- urządzenie musi posiadać zintegrowany panel dotykowy do obsługi i zmiany parametrów procesu. Wyświetlacz jednocześnie powinien wskazywać przynajmniej podstawowe parametry procesu napylania takie jak: ustawienie stolika, czas procesu, napięcie, prąd- zmotoryzowany stolik do montażu próbek, z możliwością pochyłu i obrotu, posiadający regulacją parametrów ruchu z poziomu panelu sterowania urządzenia- druga wymienna komora napylania lub zapasowa (druga) osłona łatwa do montażu/demontażu dla użytkownika w celu wyczyszczenia osadzonego materiału- układ do pomiaru grubości napylonej warstwy- możliwość napylania z dwóch źródeł po kolei bez konieczności odpompowania komory napylarki- możliwość precyzyjnej automatycznej kontroli procesu wyżarzania włókien wolframowych- możliwość aktualizacji oprogramowania poprzez klucz USBW skład zestawu musi wchodzić pomocniczy stołowy skaningowy mikroskop elektronowy o parametrach nie gorszych od poniższych:- Instrument powinien charakteryzować się kompaktową budową.- Mikroskop powinien być wyposażony w detektor do bezpośredniej detekcji elektronów wstecznie rozproszonych BSE oraz detektor EDS umożliwiający badanie składu chemicznego.- Mikroskop powinien być wyposażony w działo elektronowe z emisją elektronów z katody o średniej żywotności nie mniejszej niż 1000 godzin pracy.- W mikroskopie musi istnieć możliwość wykonywania zdjęć optycznych z kamery CCD z możliwością powiększenia do co najmniej 100x.- Przesuwy preparatu X i Y powinny być całkowicie zmotoryzowane i sterowane z głównego interfejsu graficznego użytkownika mikroskopu.- Układ próżniowy mikroskopu musi być sterowany całkowicie automatycznie.- Z mikroskopem powinien być zintegrowany system do analizy składu chemicznego, przy czym wykonywanie zdjęć mikroskopowych i pomiar składu chemicznego powinnny odbywać się za pomocą jednego interfejsu użytkownika.- Z mikroskopem powinien zostać dostarczony dodatkowy komputer z monitorem i klawiaturą, wyposażony w oprogramowanie pozwalające na: zdalną pracę na mikroskopie, składanie zdjęć mikroskopowych w jeden obraz (mapping obrazowy) oraz oprogramowanie do rekonstrukcji 3D.- Zestaw pomocniczego mikroskopu powinien zawierać: uchwyt preparatu umożliwiający badanie preparatów nieprzewodzących, stoliki mikroskopowe minimum 100 szt., krążki węglowe minimum 100 szt., pęseta do stolików mikroskopowych, klej węglowy do mocowania preparatów.Dodatkowo zestaw musi obejmować:- co najmniej 5 dniowe szkolenie z zakresu obsługi wszystkich elementów układu, dla co najmniej 3 osób w laboratorium Zamawiającego po instalacji - w celu sprawdzenia wszystkich systemów zestawu oraz specjalistyczne zaawansowane szkolenie w ośrodku szkoleniowych producenta, o ile nie jest możliwe szkolenie w miejscu dostawy, dla co najmniej 2 osób (koszty przejazdu i pobytu ponosi Wykonawca).- zestaw co najmniej dwóch targetów złota do napylarki oraz szpulę minimum 20 m włókna węglowego.- wymagane reduktory dla gazów technicznych przewidzianych do pracy całego zestawu.- system klimatyzacji zapewniający wymagane parametry dla pracy urządzenia z montażem. Wymiary pomieszczenia: powierzchnia 16,45 m2, wysokość 3 m. Pomieszczenie znajduje się na parterze budynku. Do obsługi urządzenia przewiduje się dwóch pracowników.Oferowany sprzęt musi być fabrycznie nowy i w pełni sprawny, musi odpowiadać standardom jakościowym i technicznym, wynikającym z funkcji i przeznaczenia, musi być wolny od wad materiałowych, konstrukcyjnych i prawnych, musi spełniać wymagania określone przez Zamawiającego w Specyfikacji Istotnych Warunków Zamówienia oraz nie może być obciążony żadnymi prawami na rzecz osób trzecich, a także nie może być prototypem.