Dostawa urządzenia do osadzania warstw atomowych ALD

Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej

Dostawa urządzenia do osadzania warstw atomowych ALD do Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT

Termin

Termin składania ofert wynosił 2024-10-17. Zamówienie zostało opublikowane na stronie 2024-09-16.

Kto? Co? Gdzie?
Historia zamówień
Data Dokument
2024-09-16 Ogłoszenie o zamówieniu
2024-10-22 Ogłoszenie o udzieleniu zamówienia
Ogłoszenie o zamówieniu (2024-09-16)
Obiekt
Zakres zamówienia
Tytuł: Dostawa urządzenia do osadzania warstw atomowych ALD
Numer referencyjny: CEZAMAT/ZP27/2024
Krótki opis:
Dostawa urządzenia do osadzania warstw atomowych ALD do Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT
Rodzaj umowy: Dostawy
Produkty/usługi: Aparatura kontrolna i badawcza 📦
Opis
Tytuł: Dostawa zestawu urządzeń do osadzania warstw atomowych ALD
Opis zamówienia:
1. Przedmiotem zamówienia jest dostawa urządzenia do osadzania warstw atomowych ALD do Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej, ul. Poleczki 19, 02-822 Warszawa. 2. Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia określony został w załączniku nr 2 do SWZ – Opis przedmiotu zamówienia.
Pokaż więcej
Informacje dodatkowe:
Termin realizacji zamówienia: 1. Dostawa aparatury – nie dłużej niż 12 miesięcy od dnia zawarcia umowy 2. Instalacja aparatury – nie dłużej niż 30 dni od dnia dostawy aparatury 3. Przeprowadzenie instruktażu dla pracowników Zamawiającego - nie dłużej niż 30 dni od dnia dostawy aparatury. Zamawiający żąda od Wykonawców wniesienia wadium w wysokości 25.000,00 zł. Wykonawca przed podpisaniem umowy, zobowiązany jest do wniesienia zabezpieczenia należytego wykonania umowy, w wysokości 2% kwoty całkowitego Wynagrodzenia określonego w umowie. Zabezpieczenie służy pokryciu roszczeń z tytułu niewykonania lub nienależytego wykonania umowy.
Pokaż więcej
Rodzaj umowy: Dostawy
Produkty/usługi: Aparatura kontrolna i badawcza 📦
Adres pocztowy: ul. Poleczki 19
Kod pocztowy: 02-822
Miejscowość: Warszawa
Kraj: Polska 🇵🇱
Miejsce wykonania: Miasto Warszawa 🏙️
Czas trwania: 13 miesięcy
Informacje o opcjach
Opcje ✅
Opis opcji:
Zamawiający przewiduje prawo opcji polegające na rozszerzeniu zakresu zamówienia według poniższego zestawienia: I. Rozbudowa o moduł pomiaru emisji optycznej na potrzeby kontroli procesów: 1. możliwość podłączenie modułu pomiaru emisji optycznej do portu wyszczególnionego powyżej 2. moduł wyposażony w wymienny filtr optyczny dla wybranej długości fali 3. zakres spektralny 200-800 nm lub szerszy 4. oprogramowanie pozwalające na zbieranie danych z modułu pomiaru emisji optycznej II. Dodatkowa linia bezpiecznego gazu procesowego: 1. linia gazu procesowego musi być wyposażona co najmniej w: a. kontroler przepływu b. zawór niskiego ciśnienia umieszczony za kontrolerem przepływu c. filtr cząstek stałych o rozmiarze ok. 2 µm 2. wszystkie linie gazowe muszą być elektropolerowane i spawane orbitalnie III. Dodatkowa linia niebezpiecznego gazu procesowego 1. każda linia gazu procesowego musi być wyposażona co najmniej w: a. kontroler przepływu b. zawór niskiego ciśnienia umieszczony za kontrolerem przepływu c. filtr cząstek stałych o rozmiarze ok. 2 µm 2. każda linia niebezpiecznego gazu procesowego (gazy wybuchowe, toksyczne itp.) musi być dodatkowo wyposażona w: a. monitorowany i sterowany przez oprogramowanie zawór zabezpieczający umieszczony przed kontrolerem przepływu b. obejście kontrolera przepływu umożliwiające wypłukanie linii obojętnym gazem 3. wszystkie linie gazowe muszą być elektropolerowane i spawane orbitalnie IV. Komplet części eksploatacyjnych obejmujący co najmniej standardowy zestaw części stosowany podczas przeglądu prewencyjnego urządzenia V. 5 sztuk okienek stosowanych w portach bocznych komory wraz z zestawem uszczelek i filtrów (jeśli są tam stosowane) VI. Dodatkowy zestaw wewnętrznych osłon komory VII. Prekursory do procesów osadzania o objętości 150 ml każda : 1. SiO2 2. SiN 3. TiN 4. TiO2 5. Al2O3 6. MoS2 7. MgF2 8. HfO2 9. ZnO
Pokaż więcej
Kryteria przyznawania nagród
Cena ✅
Cena (waga): 60
Kryterium jakości (nazwa): Moc generatora dolnej elektrody (ME)– 10 punktów
Kryterium jakości (waga): 10
Kryterium jakości (nazwa): Moc generatora źródła plazmy (MP) -15 punktów
Możliwość połączenia komory w zespół współpracujących komór ze wspólnym systemem ładowania i transferu próbek (P) – 15 punktów.
Tytuł
Numer identyfikacyjny działki: LOT-0001

Procedura
Rodzaj procedury
Procedura otwarta ✅
Podstawa prawna: Dyrektywa 2014/24/UE
Informacje administracyjne
Termin składania ofert lub wniosków o dopuszczenie do udziału w postępowaniu: 2024-10-17 10:00:00 📅
Warunki otwarcia ofert: 2024-10-17 10:15:00 📅
Warunki otwarcia ofert (miejsce): https://platformazakupowa.pl/pn/pw_edu/proceedings
Warunki otwarcia ofert (Informacje o osobach upoważnionych i procedurze otwarcia):
Otwarcie odbywa się na platformie elektronicznej. Niezwłocznie po otwarciu ofert zamawiający opublikuje informacje z otwarcia.
Języki, w których można składać oferty lub wnioski o dopuszczenie do udziału w postępowaniu: angielski 🗣️
polski 🗣️
Minimalne ramy czasowe, w których oferent musi utrzymać ofertę: 90 dni
Warunki przetargu
Wymagane jest użycie zaawansowanego lub kwalifikowanego podpisu elektronicznego lub pieczęci elektronicznej (zgodnie z definicją w rozporządzeniu (UE) nr 910/2014)
Wymagane jest zabezpieczenie ✅
Data otwarcia: 2024-10-17 10:15:00 📅
Miejsce: https://platformazakupowa.pl/pn/pw_edu/proceedings
Informacje dodatkowe:
Otwarcie odbywa się na platformie elektronicznej. Niezwłocznie po otwarciu ofert zamawiający opublikuje informacje z otwarcia.
Języki, w których można składać oferty lub wnioski o dopuszczenie do udziału w postępowaniu: angielski 🗣️
polski 🗣️
Fakturowanie elektroniczne: Dozwolone
Kryteria przyznawania nagród
Rodzaj wagi: Waga (wartość punktowa, dokładna)
Warunki przetargu
Umowa zawiera warunki realizacji ✅

Informacje prawne, ekonomiczne, finansowe i techniczne
Warunki uczestnictwa
Wymagane depozyty i gwarancje:
Wykonawca przed podpisaniem umowy, zobowiązany jest do wniesienia zabezpieczenia należytego wykonania umowy, w wysokości 2% kwoty całkowitego Wynagrodzenia określonego w umowie. Zabezpieczenie służy pokryciu roszczeń z tytułu niewykonania lub nienależytego wykonania umowy.
Pokaż więcej
Warunki związane z umową
Warunki realizacji zamówienia:
Warunki realizacji zamówienia zostały określone w w projektowanych postanowieniach umowy stanowiących załącznik nr 3 do SWZ.

Instytucja zamawiająca
Nazwa i adresy
Nazwa: Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
Krajowy numer rejestracyjny: 5250005834
Departament: Zamówienia publiczne
Adres pocztowy: ul. Poleczki 19
Kod pocztowy: 02-822
Miasto pocztowe: Warszawa
Region: Miasto Warszawa 🏙️
Kraj: Polska 🇵🇱
Punkt kontaktowy: Sekretariat
E-mail: zamowienia.cezamat@pw.edu.pl 📧
Telefon: +48 (22) 182 10 22 📞
URL: https://www.cezamat.eu/ 🌏
Adres na potrzeby wymiany informacji (URL): https://platformazakupowa.pl/pn/pw_edu/proceedings 🌏
Adres profilu nabywcy: https://platformazakupowa.pl/pn/pw_edu 🌏
Rodzaj instytucji zamawiającej
Podmiot prawa publicznego
Główna działalność
Edukacja
Komunikacja
Dokumenty URL: https://platformazakupowa.pl/pn/pw_edu/proceedings 🌏
Adres URL uczestnictwa: https://platformazakupowa.pl/pn/pw_edu/proceedings 🌏
Adres URL narzędzia do zamówień: https://platformazakupowa.pl/pn/pw_edu/proceedings 🌏
Nazwa: Platforma zakupowa
Zgłoszenie elektroniczne: Wymagane

Informacje uzupełniające
Informacje dodatkowe
Dokumenty i oświadczenia wymagane od Wykonawców określa SWZ. Oświadczenie o niepodleganiu wykluczeniu z postępowania na podstawie art. 5k rozporządzenia Rady (UE) nr 833/2014 i art. 7 Ustawy o szczególnych rozwiązaniach w zakresie przeciwdziałaniu wspierania agresji na Ukrainę należy złożyć wraz ofertą. Pozostałe podmiotowe środki dowodowe (w tym JEDZ) składa tylko Wykonawca, którego oferta została najwyżej oceniona na wezwanie Zamawiającego. Zgodnie z art. 257 pkt 1 Pzp, Zamawiający przewiduje możliwość unieważnienia przedmiotowego postępowania, jeżeli środki, które Zamawiający zamierzał przeznaczyć na sfinansowanie całości lub części zamówienia, nie zostały mu przyznane
Pokaż więcej
Organ kontrolny
Nazwa: Krajowa Izba Odwoławcza
Krajowy numer rejestracyjny: 5262239325
Adres pocztowy: ul. Postępu 17A
Kod pocztowy: 02-676
Miasto pocztowe: Warszawa
Region: Miasto Warszawa 🏙️
Kraj: Polska 🇵🇱
Punkt kontaktowy: Sekretariat Biura Odwołań
E-mail: odwolania@uzp.gov.pl 📧
Telefon: +48224587801 📞
Fax: +48224587800 📠
URL: www.uzp.gov.pl 🌏
Adres na potrzeby wymiany informacji (URL): www.uzp.gov.pl 🌏
Procedura przeglądu
Dokładne informacje na temat terminu (terminów) procedur odwoławczych:
Odwołanie wnosi się w terminie 10 dni od dnia przekazania informacji o czynności zamawiającego stanowiącej podstawę jego wniesienia, jeżeli informacja została przekazana przy użyciu środków komunikacji elektronicznej. Szczegółowe informacje dotyczące przysługujących wykonawcy środków ochrony prawnej zawiera dział IX ustawy Pzp.
Pokaż więcej
Informacje o elektronicznych przepływach pracy
Akceptowane będzie fakturowanie elektroniczne
Źródło: OJS 2024/S 181-557892 (2024-09-16)
Ogłoszenie o udzieleniu zamówienia (2024-10-22)
Obiekt
Kryteria przyznawania nagród
Kryterium jakości (nazwa): Moc generatora dolnej elektrody (ME)
Moc generatora źródła plazmy (MP)
Kryterium jakości (waga): 15
Kryterium jakości (nazwa): Możliwość połączenia komory w zespół współpracujących komór ze wspólnym systemem ładowania i transferu próbek (P)

Udzielenie zamówienia
Informacja o nie przyznaniu dotacji
Nie otrzymano żadnych ofert ani wniosków o dopuszczenie do udziału w postępowaniu lub wszystkie zostały odrzucone
Powód, dla którego nie wyłoniono zwycięzcy: Nie otrzymano żadnych ofert, wniosków o dopuszczenie do udziału lub projektów
Numer identyfikacyjny działki: LOT-0001
Informacje o przetargach
Liczba ofert otrzymanych drogą elektroniczną: 0
Źródło: OJS 2024/S 207-642376 (2024-10-22)
Nowe zamówienia w powiązanych kategoriach 🆕
Powiązane wyszukiwania 🔍
Region:
Polska Makroregion województwo mazowieckie Warszawski stołeczny Miasto Warszawa
Produkty/usługi:
Sprzęt laboratoryjny, optyczny... Aparatura kontrolna i badawcza