Dostawa urządzenia do pomiaru właściwości cienkich warstw metodą elipsometrii spektroskopowej

Opis zamówienia

1. Przedmiotem zamówienia jest dostawa urządzenia do pomiaru właściwości cienkich warstw metodą elipsometrii spektroskopowej. do Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej, ul. Poleczki 19, 02-822 Warszawa.
2. Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia określony został w załączniku nr 2 do SWZ – Opis przedmiotu zamówienia.

Informacje dodatkowe

Termin wykonania umowy , w tym dostawa i montaż aparatury oraz instruktaż dla pracowników Zamawiającego - nie później niż do 30 listopada 2025 roku.
Zamawiający żąda od Wykonawców wniesienia wadium w wysokości 6 000,00 zł.
Wykonawca przed podpisaniem umowy, zobowiązany jest do wniesienia zabezpieczenia należytego wykonania umowy, w wysokości 2% kwoty całkowitego Wynagrodzenia określonego w umowie. Zabezpieczenie służy pokryciu roszczeń z tytułu niewykonania lub nienależytego wykonania umowy.

Opis opcji

Zamawiający przewiduje prawo opcji polegające na rozszerzeniu zakresu zamówienia o dostawę następujących elementów:
1) Oprogramowanie do modelowania wymiarów nanostruktur periodycznych o zadanej geometrii na bazie pomiaru elipsometrycznego metodą Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA).
2) Dostawa dodatkowego wolnostojącego reflektrometru spektroskopowego o następujących parametrach:
a. Urządzenie musi posiadać wszystkie moduły niezbędne do realizacji pomiaru, w tym moduł oświetlenia, światłowód, zasilacz oraz układ detekcji.
b. Zakres spektralny pomiaru: 450-900 nm lub szerszy, realizowany za pomocą dostarczonego przez Wykonawcę źródła światła
c. Konfiguracja: światłowód zamocowany pionowo nad próbką.
d. Oprogramowanie:
i. Oprogramowanie umożliwiające szybką analizę wyników i pomiar grubości warstwy
ii. Oprogramowanie musi być wyposażone w bazę materiałową uwzględniającą standardowe materiały stosowane w przemyśle półprzewodnikowym, takie jak krzem, tlenek krzemu, azotek krzemu, polimery
iii. Oprogramowanie musi umożliwiać dodawanie własnych materiałów za pomocą powszechnie stosowanych modeli dyspersyjnych, w tym modelu Cauchy’ego
iv. Oprogramowanie musi być dostarczone w wersji instalacyjnej.
e. System operacyjny: zainstalowany system operacyjny Windows 11 Professional PL 64-bit lub równoważny. Parametry równoważności:
i. Zainstalowany system niewymagający ręcznego wpisywania klucza licencyjnego i aktywacji za pomocą telefonu lub Internetu;
ii. Pełna integracja z domeną Active Directory MS Windows (posiadaną przez Zamawiającego) opartą na systemie Windows Server 2012;
iii. Zarządzanie komputerami poprzez Zasady Grup (GPO) Active Directory MS Windows (posiadaną przez Zamawiającego), WMI;
iv. Pełna integracja z VPN FortiClient, Microsoft Office 365, Exchange 2019;
v. Graficzny interfejs w języku polskim i/lub angielskim
vi. Wszystkie w/w funkcjonalności nie mogą być realizowane z zastosowaniem wszelkiego rodzaju emulacji i wirtualizacji Microsoft Windows 11;
vii. W przypadku systemu operacyjnego równoważnego należy podać jego nazwę w ofercie oraz załączyć oświadczenie i dokumenty potwierdzające równoważność systemu operacyjnego (dokumenty te stanowią integralną oferty i nie podlegają uzupełnieniu).
viii. Odzyskiwanie systemu operacyjnego: partycja recovery lub dołączony nośnik zewnętrzny, umożliwiający przywrócenie systemu operacyjnego do stanu początkowego.
ix. W przypadku braku możliwości dostarczenia komputera z systemem operacyjnym opisanym powyżej zamawiający dopuszcza możliwość użycia komputera pośredniczącego w komunikacji z urządzeniem spełniającego opisane wymagania.
f. Jednostka sterująca
i. Komputer lub zestaw komputerów do sterowania urządzeniem dostosowany do pracy w laboratorium czystym (clean-room) i obsługi w rękawiczkach.
ii. Karta sieciowa: wbudowana ze złączem RJ-45 1000 Mb/s z obsługą IEEE 802.1x.
iii. Klawiatura w układzie ANSI US QWERTY
iv. Monitor o przekątnej co najmniej 24”.
g. Dokumentacja techniczna urządzenia i inne.
i. Bezterminowa licencja do pełnego wykorzystania urządzenia i jego funkcji do zastosowań zarówno naukowych, badawczo-rozwojowych oraz komercyjnych.
ii. Komplet dokumentacji do Urządzenia w języku polskim i/lub angielskim, w tym instrukcja obsługi, pełne schematy elektryczne, optyczne, mechaniczne i systemu próżniowego urządzenia oraz instrukcja obsługi oprogramowania dostarczonego wraz z Urządzeniem.
iii. Dokumentacja urządzenia musi być dostarczona w wersji drukowanej (na papierze przystosowanym do laboratorium typu clean-room) oraz w wersji cyfrowej. Pliki cyfrowe powinny być dostarczone na półprzewodnikowym nośniku danych (np. pendrive lub zewnętrzny dysk SSD).
iv. Transport, wniesienie oraz ustawienie w odpowiednim miejscu jest po stronie wykonawcy.
v. Gwarancja na czas bezawaryjnej pracy urządzenia – 12 miesięcy. Gwarancja obejmuje części zamienne i materiały zużywalne oraz niezbędne roboczogodziny na miejscu w zależności od zaistniałego zdarzenia. Gwarancja obejmuje jednorazową prewencyjną akcję serwisową przed końcem okresu gwarancji.
vi. Wykonawca zapewnia dostęp do części zamiennych do urządzenia przez co najmniej 7 lat od dostarczenia urządzenia.
h. Urządzenie musi umożliwiać pomiar grubości monowarstw w zakresie od 30 nm do 15 µm lub szerszym.
i. Urządzenie musi zapewniać dokładność pomiaru grubości nie gorszą niż 1 nm dla pomiaru tlenku krzemu (grubość rzędu 100-500 nm) na podłożu krzemowym.
Dopuszczalny rozrzut wyników pomiaru grubości PMMA na podłożu krzemowym (rzędu 100-500 nm) z 5 niezależnych pomiarów w tym samym punkcie nie może być większy niż 1,0%.
spełniających wymagania określone w opisie przedmiotu zamówienia w rozdziale J.
Warunki realizacji prawa opcji zostały określone w we wzorze umowy ( załącznik nr 3 do SWZ)

Wymagane depozyty i gwarancje

Wykonawca przed podpisaniem umowy, zobowiązany jest do wniesienia zabezpieczenia należytego wykonania umowy, w wysokości 2% kwoty całkowitego Wynagrodzenia określonego w umowie. Zabezpieczenie służy pokryciu roszczeń z tytułu niewykonania lub nienależytego wykonania umowy.

Informacje dodatkowe

Dokumenty i oświadczenia wymagane od Wykonawców określa SWZ.
Oświadczenie o niepodleganiu wykluczeniu z postępowania na podstawie art. 5k rozporządzenia Rady (UE) nr 833/2014 i art. 7 Ustawy o szczególnych rozwiązaniach w zakresie przeciwdziałaniu wspierania agresji na Ukrainę należy złożyć wraz ofertą.
Pozostałe podmiotowe środki dowodowe (w tym JEDZ) składa tylko Wykonawca, którego oferta została najwyżej oceniona na wezwanie Zamawiającego.
Zgodnie z art. 257 pkt 1 Pzp, Zamawiający przewiduje możliwość unieważnienia przedmiotowego postępowania, jeżeli środki, które Zamawiający zamierzał przeznaczyć na sfinansowanie całości lub części zamówienia, nie zostały mu przyznane

Dokładne informacje na temat terminu (terminów) procedur odwoławczych

Odwołanie wnosi się w terminie 10 dni od dnia przekazania informacji o czynności zamawiającego stanowiącej podstawę jego wniesienia, jeżeli informacja została przekazana przy użyciu środków komunikacji elektronicznej. Szczegółowe informacje dotyczące przysługujących wykonawcy środków ochrony prawnej zawiera dział IX ustawy Pzp.