Opis opcji
Zamawiający przewiduje prawo opcji polegające na rozszerzeniu zakresu zamówienia o dostawę następujących elementów:
1) Oprogramowanie do modelowania wymiarów nanostruktur periodycznych o zadanej geometrii na bazie pomiaru elipsometrycznego metodą Rigorous Coupled Wave Analysis (RCWA).
2) Dostawa dodatkowego wolnostojącego reflektrometru spektroskopowego o następujących parametrach:
a. Urządzenie musi posiadać wszystkie moduły niezbędne do realizacji pomiaru, w tym moduł oświetlenia, światłowód, zasilacz oraz układ detekcji.
b. Zakres spektralny pomiaru: 450-900 nm lub szerszy, realizowany za pomocą dostarczonego przez Wykonawcę źródła światła
c. Konfiguracja: światłowód zamocowany pionowo nad próbką.
d. Oprogramowanie:
i. Oprogramowanie umożliwiające szybką analizę wyników i pomiar grubości warstwy
ii. Oprogramowanie musi być wyposażone w bazę materiałową uwzględniającą standardowe materiały stosowane w przemyśle półprzewodnikowym, takie jak krzem, tlenek krzemu, azotek krzemu, polimery
iii. Oprogramowanie musi umożliwiać dodawanie własnych materiałów za pomocą powszechnie stosowanych modeli dyspersyjnych, w tym modelu Cauchy’ego
iv. Oprogramowanie musi być dostarczone w wersji instalacyjnej.
e. System operacyjny: zainstalowany system operacyjny Windows 11 Professional PL 64-bit lub równoważny. Parametry równoważności:
i. Zainstalowany system niewymagający ręcznego wpisywania klucza licencyjnego i aktywacji za pomocą telefonu lub Internetu;
ii. Pełna integracja z domeną Active Directory MS Windows (posiadaną przez Zamawiającego) opartą na systemie Windows Server 2012;
iii. Zarządzanie komputerami poprzez Zasady Grup (GPO) Active Directory MS Windows (posiadaną przez Zamawiającego), WMI;
iv. Pełna integracja z VPN FortiClient, Microsoft Office 365, Exchange 2019;
v. Graficzny interfejs w języku polskim i/lub angielskim
vi. Wszystkie w/w funkcjonalności nie mogą być realizowane z zastosowaniem wszelkiego rodzaju emulacji i wirtualizacji Microsoft Windows 11;
vii. W przypadku systemu operacyjnego równoważnego należy podać jego nazwę w ofercie oraz załączyć oświadczenie i dokumenty potwierdzające równoważność systemu operacyjnego (dokumenty te stanowią integralną oferty i nie podlegają uzupełnieniu).
viii. Odzyskiwanie systemu operacyjnego: partycja recovery lub dołączony nośnik zewnętrzny, umożliwiający przywrócenie systemu operacyjnego do stanu początkowego.
ix. W przypadku braku możliwości dostarczenia komputera z systemem operacyjnym opisanym powyżej zamawiający dopuszcza możliwość użycia komputera pośredniczącego w komunikacji z urządzeniem spełniającego opisane wymagania.
f. Jednostka sterująca
i. Komputer lub zestaw komputerów do sterowania urządzeniem dostosowany do pracy w laboratorium czystym (clean-room) i obsługi w rękawiczkach.
ii. Karta sieciowa: wbudowana ze złączem RJ-45 1000 Mb/s z obsługą IEEE 802.1x.
iii. Klawiatura w układzie ANSI US QWERTY
iv. Monitor o przekątnej co najmniej 24”.
g. Dokumentacja techniczna urządzenia i inne.
i. Bezterminowa licencja do pełnego wykorzystania urządzenia i jego funkcji do zastosowań zarówno naukowych, badawczo-rozwojowych oraz komercyjnych.
ii. Komplet dokumentacji do Urządzenia w języku polskim i/lub angielskim, w tym instrukcja obsługi, pełne schematy elektryczne, optyczne, mechaniczne i systemu próżniowego urządzenia oraz instrukcja obsługi oprogramowania dostarczonego wraz z Urządzeniem.
iii. Dokumentacja urządzenia musi być dostarczona w wersji drukowanej (na papierze przystosowanym do laboratorium typu clean-room) oraz w wersji cyfrowej. Pliki cyfrowe powinny być dostarczone na półprzewodnikowym nośniku danych (np. pendrive lub zewnętrzny dysk SSD).
iv. Transport, wniesienie oraz ustawienie w odpowiednim miejscu jest po stronie wykonawcy.
v. Gwarancja na czas bezawaryjnej pracy urządzenia – 12 miesięcy. Gwarancja obejmuje części zamienne i materiały zużywalne oraz niezbędne roboczogodziny na miejscu w zależności od zaistniałego zdarzenia. Gwarancja obejmuje jednorazową prewencyjną akcję serwisową przed końcem okresu gwarancji.
vi. Wykonawca zapewnia dostęp do części zamiennych do urządzenia przez co najmniej 7 lat od dostarczenia urządzenia.
h. Urządzenie musi umożliwiać pomiar grubości monowarstw w zakresie od 30 nm do 15 µm lub szerszym.
i. Urządzenie musi zapewniać dokładność pomiaru grubości nie gorszą niż 1 nm dla pomiaru tlenku krzemu (grubość rzędu 100-500 nm) na podłożu krzemowym.
Dopuszczalny rozrzut wyników pomiaru grubości PMMA na podłożu krzemowym (rzędu 100-500 nm) z 5 niezależnych pomiarów w tym samym punkcie nie może być większy niż 1,0%.
spełniających wymagania określone w opisie przedmiotu zamówienia w rozdziale J.
Warunki realizacji prawa opcji zostały określone w we wzorze umowy ( załącznik nr 3 do SWZ)