Dostawa elektronolitografu (systemu do generacji wzorów wiązką elektronów) wraz z wyposażeniem dla Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych w Warszawie
Przedmiotem niniejszego zamówienia jest dostawa (rozumiana jako sprzedaż, dostarczenie do siedziby Zamawiającego, montaż oraz uruchomienie) elektronolitografu - to jest kompletnego systemu do generacj iwzorów wiązką elektronów (zwanego również systemem do elektronolitografii) wraz z wyposażeniem, przeznaczonego do:
1. wytwarzania fotomasek chromowych;
2. bezpośredniej generacji wzorów na podłożach półprzewodnikowych z wykorzystaniem znacznikówcentrujących;
3. wytwarzania matryc (form) dla technik nanoimprintu;
4. wytwarzania wielopoziomowych fazowych struktur dyfrakcyjnych z wykorzystaniem znaczników centrujących.
System do elektronolitografii obejmuje w szczególności:
1) jednostkę podstawową do generacji wzorów wiązką elektronów wraz z komputerem sterującym,oprogramowaniem i dokumentacją;
2) stację załadowczą;
3) kompletny automatyczny system stabilizacji temperatury jednostki podstawowej i stacji załadowczej;
4) automatyczny system próżniowy;
5) komputerowe stanowisko do przygotowywania i przetwarzania danych graficznych z oprogramowaniem i dokumentacją, w tym oprogramowanie do konwersji danych oraz korekty efektów związanych ze zjawiskiem sąsiedztwa.
Przedmiot zamówienia obejmuje również przeszkolenie wskazanych pracowników Zamawiającego w zakresie obsługi urządzenia.
Termin
Termin składania ofert wynosił 2011-11-24.
Zamówienie zostało opublikowane na stronie 2011-10-10.
Kto?
Co?
Historia zamówień
| Data |
Dokument |
| 2011-10-10
|
Ogłoszenie o zamówieniu
|