Dostawa elektronolitografu (systemu do generacji wzorów wiązką elektronów) wraz z wyposażeniem dla Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych w Warszawie

Wielkość lub zakres

Przedmiotem niniejszego zamówienia jest dostawa (rozumiana jako sprzedaż, dostarczenie do siedziby Zamawiającego, montaż oraz uruchomienie) fabrycznie nowego elektronolitografu - to jest kompletnego systemu do generacji wzorów wiązką elektronów (zwanego również systemem do elektronolitografii) wraz z wyposażeniem, przeznaczonego do:1. wytwarzania fotomasek chromowych2. bezpośredniej generacji wzorów na podłożach półprzewodnikowych z wykorzystaniem znaczników centrujących3. wytwarzania matryc (form) dla technik nanoimprintu4. wytwarzania wielopoziomowych fazowych struktur dyfrakcyjnych z wykorzystaniem znaczników centrujących.System do elektronolitografii obejmuje w szczególności:1) jednostkę podstawową do generacji wzorów wiązką elektronów wraz z komputerem sterującym, oprogramowaniem i dokumentacją,2) stację załadowczą,3) kompletny automatyczny system stabilizacji temperatury jednostki podstawowej i stacji załadowczej,4) automatyczny system próżniowy,5) komputerowe stanowisko do przygotowywania i przetwarzania danych graficznych z oprogramowaniem i dokumentacją, w tym oprogramowanie do konwersji danych oraz korekty efektów związanych ze zjawiskiem sąsiedztwa.Przedmiot zamówienia obejmuje również:(1) wykonanie testów odbiorczych u producenta przed dostawą systemu co najmniej w zakresie podanym w Załączniku 6. Wymagania dotyczące szczegółowego opisu testów odbiorczych oferowanego systemu do elektronolitografii,(2) sprawdzenie spełnienia przez Zamawiającego warunków instalacji urządzenia przed jego dostawą, co najmniej w zakresie podanym w Załączniku 8. Wymagania dotyczące szczegółowego opisu warunków technicznych instalacji oferowanego systemu do elektronolitografii(3) wykonanie testów odbiorczych systemu uruchomionego u Zamawiającego co najmniej w zakresie podanym w Załączniku 6. Wymagania dotyczące szczegółowego opisu testów odbiorczych oferowanego systemu do elektronolitografii,(4) przeszkolenie wskazanych pracowników Zamawiającego w zakresie obsługi systemu i oprogramowania.System do elektronolitografii musi spełniać wymagania opisane w SIWZ a w szczególności określone w załączniku nr 1 do niniejszej specyfikacji pt. "Szczegółowa charakterystyka przedmiotu zamówienia", który to załącznik stanowi integralną część SIWZ.30 000 000,00