Dostawa elektronolitografu (systemu do generacji wzorów wiązką elektronów) wraz z wyposażeniem dla Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych w Warszawie

Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych

Przedmiotem niniejszego zamówienia jest dostawa (rozumiana jako sprzedaż, dostarczenie do siedziby Zamawiającego, montaż oraz uruchomienie) elektronolitografu - to jest kompletnego systemu do generacji wzorów wiązką elektronów (zwanego również systemem do elektronolitografii) wraz z wyposażeniem, przeznaczonego do:
1. wytwarzania fotomasek chromowych;
2. bezpośredniej generacji wzorów na podłożach półprzewodnikowych z wykorzystaniem znaczników centrujących;
3. wytwarzania matryc (form) dla technik nanoimprintu;
4. wytwarzania wielopoziomowych fazowych struktur dyfrakcyjnych z wykorzystaniem znaczników centrujących.
System do elektronolitografii obejmuje w szczególności:
1) jednostkę podstawową do generacji wzorów wiązką elektronów wraz z komputerem sterującym, oprogramowaniem i dokumentacją;
2) stację załadowczą;
3) kompletny automatyczny system stabilizacji temperatury jednostki podstawowej i stacji załadowczej;
4) automatyczny system próżniowy;
5) komputerowe stanowisko do przygotowywania i przetwarzania danych graficznych z oprogramowaniem i dokumentacją, w tym oprogramowanie do konwersji danych oraz korekty efektów związanych ze zjawiskiem sąsiedztwa.
Przedmiot zamówienia obejmuje również przeszkolenie wskazanych pracowników Zamawiającego w zakresie obsługi urządzenia.

Termin
Termin składania ofert wynosił 2011-07-04. Zamówienie zostało opublikowane na stronie 2011-04-29.

Kto?

Co?

Historia zamówień
Data Dokument
2011-04-29 Ogłoszenie o zamówieniu
2011-11-25 Dodatkowe informacje
Ogłoszenie o zamówieniu (2011-04-29)
Obiekt
Zakres zamówienia
Tytuł: Urządzenia elektromechaniczne
Wielkość lub zakres:
“Dostawa (rozumiana jako sprzedaż, dostarczenie do siedziby Zamawiającego, montaż oraz uruchomienie) elektronolitografu - to jest kompletnego systemu do...”    Pokaż więcej
Całkowita wartość zamówienia: 30 000 000,00 💰
Metadane ogłoszenia
Język oryginału: polski 🗣️
Typ dokumentu: Ogłoszenie o zamówieniu
Rodzaj zamówienia: Dostawy
Regulacja: Unia Europejska
Wspólny słownik zamówień (CPV)
Kod: Urządzenia elektromechaniczne 📦

Procedura
Typ procedury: Procedura otwarta
Typ oferty: Wniosek dotyczący wszystkich partii
Kryteria przyznawania nagród
Oferta najbardziej korzystna ekonomicznie

Instytucja zamawiająca
Tożsamość
Kraj: Polska 🇵🇱
Typ instytucji zamawiającej: Inne
Adres pocztowy: Wólczyńska 133
Kod pocztowy: 01-919
Miasto pocztowe: Warszawa
Kontakt
Adres internetowy: http://www.itme.edu.pl 🌏
E-mail: slawomir.strelau@itme.edu.pl 📧
Telefon: +48 228353536 📞
Fax: +48 228349220 📠

Odniesienie
Daty
Data wysłania: 2011-04-29 📅
Termin składania ofert: 2011-07-04 📅
Data publikacji: 2011-05-03 📅
Identyfikatory
Numer ogłoszenia: 2011/S 85-139298
Numer Dz.U.-S: 85
Źródło: OJS 2011/S 085-139298 (2011-04-29)
Dodatkowe informacje (2011-11-25)
Obiekt
Metadane ogłoszenia
Typ dokumentu: Dodatkowe informacje

Odniesienie
Daty
Data wysłania: 2011-11-25 📅
Data publikacji: 2011-11-30 📅
Identyfikatory
Numer ogłoszenia: 2011/S 230-372059
Odnosi się do ogłoszenia: 2011/S 85-139298
Numer Dz.U.-S: 230
Źródło: OJS 2011/S 230-372059 (2011-11-25)